電子半導體廢水處理方法有哪些？

電子半導體的快速發(fā)展是工業(yè)和企業(yè)發(fā)展的驅動(dòng)力，促進(jìn)了經(jīng)濟和社會(huì )的發(fā)展。然而，隨著(zhù)制造業(yè)的擴大，加工廠(chǎng)的增加，電子半導體廢水的排放量增加，半導體廢水不能隨意排放。半導體工業(yè)是一個(gè)非常依賴(lài)水資源的行業(yè)，也是一個(gè)耗水量大的行業(yè)。特別是在水資源有限的情況下，限水和缺水給半導體制造商的運營(yíng)帶來(lái)了巨大的壓力。

因此，半導體生產(chǎn)企業(yè)節水的研究和實(shí)踐有助于提高用水效率，降低用水成本。目前，節約用水和中水回收，廢水回收已經(jīng)成為半導體經(jīng)營(yíng)者應對缺水危機的重要措施，尤其是廢水的回收，不僅可以降低對水資源的需求，還可以降低企業(yè)的生產(chǎn)成本，減少對環(huán)境的污染。

電子半導體廢水處理方法有很多，如生化、物理、物化、化學(xué)等。可以根據半導體廢水的水質(zhì)進(jìn)行處理，但吸附、冷凍、離子交換樹(shù)脂、超濾、電滲析等。廢水處理成本相對較高，廢水去除達標排放率相對較低。電子半導體生產(chǎn)工藝復雜，工藝步驟有很多步，同時(shí)使用各種化學(xué)試劑和特殊氣體。主要生產(chǎn)工藝包括硅片清洗、氧化、擴散、化學(xué)氣相沉積、光刻、脫膠、干刻蝕、濕刻蝕、離子注入、金屬化鍍膜、化學(xué)機械拋光等。