隨著(zhù)我國經(jīng)濟的高速發(fā)展，半導體行業(yè)的發(fā)展也在迅速崛起，但在半導體工業(yè)加工的過(guò)程中不可避免的會(huì )產(chǎn)生含有氟離子，銅離子，磷廢水的污染物廢水，那半導體行業(yè)產(chǎn)生的工業(yè)廢水怎么處理？

含氟廢水處理：

將半導體行業(yè)產(chǎn)生的工業(yè)廢水的PH值調整在6-7左右，再加入的過(guò)量的Ca Cl2和適量的絮凝劑，后續會(huì )形成沉淀，部分污泥循環(huán)成為載體，在沉淀池中通過(guò)重力沉降能夠實(shí)現泥水分離。

第一次反應時(shí)能夠去除80%的氟，再一次加入絮凝劑，氟化鈣及其其他形態(tài)沉淀，利用污泥泵輸送到污泥沉淀池,用板框式脫水機壓成泥餅外運，這時(shí)候產(chǎn)生的壓濾液進(jìn)入其他的系統進(jìn)一步處理。

含磷離子廢水處理：

含磷廢水中磷主要以PO43-為主，采用的方法為化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法的組合工藝，通過(guò)加入Ca Cl2生成難溶于水的Ca5(PO4)3OH沉淀。

一級反應池的PH調整到5-6左右，二級反應池PH調整到8.5-9，三級反應池PH調整到9-9.5(確保完全生成羥基磷酸鈣)，此工藝流程比較簡(jiǎn)單，費用也比較低，對于含磷廢水處理有很大的適用性。

與研磨廢水進(jìn)行混合：

將半導體器件制造中產(chǎn)生的電鍍廢水和研磨廢水進(jìn)行混合，混合廢水泵入浸沒(méi)式膜過(guò)濾裝置過(guò)濾，過(guò)濾的水泵入納濾膜過(guò)濾裝置過(guò)濾，經(jīng)過(guò)納濾膜過(guò)濾裝置過(guò)濾的水即可直接回用。